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      烟台工业气体和混合气体对配置装置的要求

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      烟台工业气体和混合气体对配置装置的要求

      发布日期:2021-08-06 作者:烟台市福山区福源气体有限公司 点击:

             烟台工业气体同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路是EP(电解研磨)级别,材质为316L,精.密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统:正压试验1.5倍工作压力,持压30min;真空氦检漏:≤10-9atm.cc/s;系统水分:≤-80℃;微量氧:≤10×10-9;颗粒物测定:≤1EA/ft3at0.1μm;≤5EA/ft3at0.05μm。为了防止产生颗粒物,装置应配有耐高压、耐腐蚀过滤器,如PALL产0.003μm不锈钢烧结或PTFE滤芯,并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量,当过滤效果下降,应立即更换滤芯或过滤器。

        烟台工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气:N2、H2、He、Ar、O2;组分气:PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于百分之99.9999,在净化器的出口设有在线H2O、O2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气,化学法虽然能够通过反应进行中和,但由于涉及水溶液,因此,该法不是推荐方法,我们通常采用催化分解或燃烧的方法,可有效解决除AsH3以外的有毒气体,AsH3处理只是由气态有毒物变为固态而已。

        为了避免交叉污染,工业气体配气设备的数量应根据业务情况确定,这一点十分重要,如配完B2H百分之65-H2混合气,由于B2H6的化学特性,通过吹扫抽空很难在短时间内将吸附在系统内的残存B2H6吹净,若该系统再配制PH3混合气,无疑将严重污染该气体。由于它们同属于掺杂气体,稍有残留将无法使用。

        上述内容就是给大家总结的关于烟台工业气体和混合气体对配置装置的要求相关内容,相信大家都有一定的了解了,希望对大家有所帮助。如有需要,欢迎前来咨询,我们将竭诚为您服务。了解更多相关内容,请继续关注我们的官方网站吧。 

      烟台工业气体

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      关键词:烟台工业气体,烟台工业气体厂家,烟台工业气体价格

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